|
设备名称: |
I/V测试仪 |
型号: |
B1505A |
生产厂家: |
马来西亚Agilent Technologies公司 |
购买时间: |
2011年 |
运行状况: |
良好 |
负责人: |
宋春雷 |
电话: |
0431-85262985 |
电子邮件: |
songcl@caic.jl.cn |
存放地点: |
本馆 |
主要功能及应用范围
通过内部高精密直流电源,采用扫描电压/电流的方法,获得被测件的伏安特性曲线,并在曲线上提取进一步的特性参数,可满足广泛的材料和半导体器件表征要求。
技术参数
电压:0~3000V 功率:0~200W
操作流程
一、打开电源,点击Start EasyExpert→Start Easy Expert→OK,进入测试界面。
二、依次点击Classic Test→I/V Sweep→Select,编辑测试条件,在Channel Setup,Display Setup内设定参数,其他Setup参数选项可根据实验需要进行设定。SMU1:HV,电压范围0~3000V;SMU2:HP,功率范围0~200W。
三、使用探针台时,打开探针台的真空泵和真空吸附开关,然后放置样品,选择测试需要的探针:
P1探针连接 高功率Force线; P2探针连接 高功率Sense线;
P3探针连接 地线; P4探针连接 高电压线。
四、关好探针台箱门,点击?绿色图标,测试开始。
五、导出数据:Excel格式数据输出:在主测试界面下Results栏选中所要输出的数据→单击右键→Transport Data→Expert As CSV→选择保存路径;图片数据输出:在测试结果界面下,依次点击File→Save Image As→保存路径。
注意事项
一、高压测试时,一定要关闭探针台箱门,注意人身安全。
二、使用探针台时,要缓慢下针,使针尖与样品表面相接触,注意不要使探针发生弯曲、断裂。